二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #159341 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种用于薄膜沉积过程的沉积反应器。它利用具有不同类型气体的多种来源，例如氙气和氮气，形成沉积在基板上的薄膜层。设备有一个可变温度室，允许基板加热至高达750°C的温度。此外，它还包含一个石英晶体监测仪，用于测量薄膜沉积过程。AMAT P-5000可用于各种应用,因为它可用于生产各种材料上的薄膜层,如氧化物、氮化物和金属。可用于制造厚度从亚微米到数百纳米不等的薄膜。APPLICED MATERIALS P 5000还允许对沉积过程进行精确控制，允许用户获得高均匀性和质量的薄膜。该系统最多可容纳四个源，每个源能够提供不同类型的气体。为确保均匀性,APPLIED MATERIALS P5000利用计算机对每个源的引脚控制,允许用户调整从每个源流出的气体并监控薄膜沉积过程。源可以使用电阻装置加热，使用户可以微调基板的温度。该单元还提供了一系列安全功能，如可检测泄漏或热失控的自动采样机。它还提供双电磁互锁，设计用于在发生电源故障或紧急停止时提供保护。此外,它还具有一系列警报和关闭系统,旨在确保流程的安全运行。总而言之，AMAT P 5000是生产各种底物薄膜的理想沉积反应器。它提供了从安全措施到精确温度控制的一系列功能，使其成为各种商业和工业应用的宝贵工具。