二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #159344 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应器是为半导体材料的蚀刻和沉积而设计的工具。它常用于集成电路、薄膜和其他各种光电器件的制造。AMAT P-5000能够在低温和高温以及高达10-3至10-5 mbar的压力下运行。也可用于快速热处理（RTP）和快速热退火（RTA）。APPLICED MATERIALS P 5000的基本腔室由一根由其射频感应线圈加热至最高850C的9英寸石英管和上面的石英圆顶组成。反应堆的堆芯是一种气体分配设备，以均匀的方式分配蚀刻或沉积气体。有两个外部气体入口可以独立控制石英管或石英穹顶。AMAT P5000也有一个内置的质量流量控制器（MFC）来精确控制气体的流量。基板支撑是AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000的组成部分，其中包括一个可调节的架子和一个6点电接触系统。这样可以确保样品表面的温度均匀。植入物锁定装置也集成在装置顶部，允许使用者将基板放置在各自的位置进行蚀刻和沉积。应用材料P5000由AMAT专用可编程逻辑控制器（PLC）控制.这提供了高度的可重复性和准确性。它还与基板和工艺监控系统集成在一起，允许用户实时监控其工艺参数。诊断软件还允许用户远程访问数据、查看性能图、故障排除和修改计算机设置。最后,AMAT P 5000还提供了可为满足客户需求而定制的其他配置和功能。选项包括各种类型的加热、冷却和气体溷合系统，以及额外的材料输入、传感器和过程监控。总而言之，P 5000是半导体和光电工业蚀刻和沉积过程中必不可少的可靠工具。
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