二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #188546 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是专门为生产半导体和光伏器件而设计的反应堆。它是一种反应性离子蚀刻（RIE）和溅射工艺设备，能够使用多种材料。AMAT P-5000反应器由真空室、蚀刻气体分配歧管、气体匹配系统和控制计量设备组成。腔室采用不锈钢墙建造，内部采用非金属材料制成，热稳定性高。蚀刻气体分配歧管装有一系列阀门和喷嘴，便于精确蚀刻。APPLICED MATERIALS P 5000反应堆能够在高压和低压条件下运行，最大压力范围为1-10 Torr。温度控制是通过热电偶实现的，而质量流控制器则管理蚀刻过程的精确化学。该装置允许快速调整反应堆参数和精确控制蚀刻过程。AMAT P 5000反应堆装有数字控制机器，以提高精度，允许对蚀刻过程进行精确控制。由于其先进的气体溷合资产，该工具能够提供高的清除率，从而在整个反应室中提供精确、均匀的气体流动。该模型还具有能产生高活动性氧气和氮气等离子体的等离子体发生器。这提供了先进的蚀刻速率控制,允许精确删除小至0.5 um的功能。P5000反应堆能够处理各种材料，包括金属、硅、和散亚胺。其强大的离子蚀刻允许蚀刻工艺的微调，允许精确的通量控制和特征宽度控制。该设备提供蚀刻气体的选择，允许精确选择蚀刻种类，蚀刻速度从0.3微米到50微米不等，视应用情况而定。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应堆通过其先进的温度、压力和蚀刻气体控制提供了高度的过程稳定性。此外，它的数字控制系统允许精确的蚀刻过程控制和数据记录。该单元的设计便于访问所有操作参数,包括温度、压力和流量。这样可以在蚀刻过程中轻松更改这些参数。该机器还能够监控各种参数，从而实现精确的蚀刻过程再现性。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反应堆是光伏和半导体器件高精度、高质量生产的理想工具。