二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #188548 待售

AMAT（应用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是专门为先进制造工艺而设计的一种恶劣环境单晶圆反应器。这种先进的加工设备提供极端的温度和压力控制，允许用户在高压和低压环境中精确定位沉积和蚀刻过程。AMAT P-5000的温度范围从350摄氏度到2000摄氏度，压力范围从1 Torr到几百Torr，允许加工多晶硅、氧化物、氮化物、金属、合金等多种材料。APPLIED MATERIALS P 5000反应堆配备了几种有助于精确加工的技术，包括扩散屏障、离子源和涂层排气板。扩散屏障由Inconel和Hastelloy制成，使它们能够抵抗热冲击、腐蚀和氧化，并有助于防止室内气体的溷合。AMAT P5000中使用的离子源被设计为产生各种类型的离子，无论是相片、氢化物、脉冲、热或空心阴极，取决于需要加工的材料。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000上的排气板涂有SiC材料，以防止与底物材料发生反面反应，有助于减少反应器室内的污染，保护加工材料的质量。APPLIED MATERIALS P5000还具有广泛的高级自动化功能,包括晶圆处理系统、自动校准以及配方文件的存储和控制。晶圆递送系统允许用户将晶圆精确地移入和移出工艺室。自动校准过程可以减少运行时周期并优化过程精度。最后,配方文件可存储多达250个配方,提供一致的可重复性,并允许用户快速恢复中断的流程。总体而言,P5000为各种材料类型提供了高精度的控制和处理功能。自动化校准、手动和高度精确的晶圆处理等先进功能,以及广泛的温度和压力范围,使P-5000成为先进制造工艺的理想反应堆。