二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #191829 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是半导体工业中使用的一种可靠且用途广泛的反应堆。AMAT P-5000是一种垂直的单晶圆热处理设备，具有较大的处理面积。反应堆由高度专业化的真空系统和气体输送单元、温控工艺室、强大的晶圆处理机组成。APPLICED MATERIALS P 5000的真空工具旨在减少颗粒数量，确保清洁环境。它由一个对流真空资产、涡轮分子泵、闸门和特种阀以及一组过滤器组成，以维持低污染水平。真空模型具有提取不需要的颗粒和保持工艺室内清洁气氛的功能。P-5000的气体输送设备采用主动-背面拥有成本（CO2）后立管歧管和低功率、热效率喷嘴。CO2后立管有助于管理气体直接输送到晶圆表面。低功率、热效率的喷嘴设计用于减少工艺室内的气泡形成，确保工艺过程的准确性和可重复性。该工艺室配有温度控制元件，以确保精确的温度调节。它还有一个先进的氮气/氙气净化系统，以维持低气压。反应堆有能力处理多达4英寸（10厘米）的晶圆。P 5000的晶圆处理单元由3向机器人装卸、盒式到盒式超声波清洗、非接触式大气转换机组成。机器人装卸工具是为高效、可重复地处理多个晶片而不接触加工室而设计的。盒式到盒式超声波清洗资产采用低频、低压清洗的方式清洗和检查晶片，提高产量，提高重复性。AMAT P5000是一种高效、可靠且用途广泛的半导体工业反应堆。它提供高效的热工程、先进的气体输送能力、精确的温度控制和精确的循环时间管理。应用材料P5000确保可重复处理、清洁真空环境和高效输送反应性气体。