二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293586392 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种高温热处理工具，用于制造先进材料，如硅基器件、金属和半导体。这种工具是半导体制造过程中必不可少的一部分，允许生产功能非常小的集成电路。AMAT P-5000反应堆利用垂直冷壁对置等离子体反应堆向晶片提供高剂量的磷气，能够维持高达850 °C的温度。该工具的高温使其能够用于扩散、氧化、氮化等先进过程，以及各种材料的沉积，如电介质和金属。此外，该工具可用于溅射沉积，产生更高质量的薄膜和材料。APPLICED MATERIALS P 5000配备专用CoolPlasma™源,可增强沉积过程,提高薄膜生长速度和均匀性,提高每晶片的通量和层数。此外，反应器具有一个独立的气体箱，允许不同成分的柔性共沉积，同时保护主加工室。该工具集成了温度控制系统,可提供精确的处理温度、更大的均匀性以及改进对关键过程的温度控制。多年来开发了广泛的先进工艺技术，使得该工具可用于等离子体增强化学气相沉积、原子层沉积和金属有机化学气相沉积等一系列应用。P 5000反应堆具有一系列先进的特性和技术，使其成为应用和生产先进材料的最先进的热处理工具之一。其先进的等离子体源、温度控制系统和灵活性为用户提供了制造多种元件的准确可靠的工具。