二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293587249 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是为先进半导体制造而设计的多站平台溅射反应器。它是AMAT系列反应堆的一部分，主要用于先进半导体器件的薄膜沉积。AMAT P-5000是一个具有一系列膜沉积过程的单室系统.它具有溅射沉积、蒸发和电子束蒸发的能力。应用材料P 5000可用于其他服务，包括化学气相沉积和离子注入。使用AMAT P 5000可以加工各种底物，包括硅、​​和砷化移铵。它有一个55厘米中央旋转炮塔和配备多达四个溅射阴极和两个蒸发源。P5000装有锁载室和基板处理设备,以便安全高效地将基板从晶圆车或装有盒式磁带的处理程序吊舱转移到加工室。AMAT P5000的圆柱形设计提供了薄膜厚度在整个晶片表面的均匀分布。其工艺配方设计为多层沉积，可达到厚度小于0.1微米的层。P 5000能够生产平面均匀度为+/-2nm、总厚度均匀度为+/-1.5nm、线宽均匀度为+/-1nm的薄膜。APPLICED MATERIALS P-5000可与主动磁控溅射沉积（AMS）或光学后处理（OPT）等高级工艺控制方法配合使用。此外,APPLIED MATERIALS P5000还配备了一套符合当今操作人员安全最高标准的强大安全功能。其综合安全系统是按照目前的ANSI/SEMI Standard NFPA 79设计的，所有安全部件都是为高可靠性而设计的，在紧急情况下有各种级别的手动和自动覆盖。最后，AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000多站平台溅射反应器是一种先进可靠的薄膜生产沉积系统。它用途广泛，涵盖了广泛的沉积过程，其工艺配方使薄膜的沉积厚度超过0.1微米。此外，其强大的安全特性使其成为当今最可靠、最安全的沉积系统之一。