二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293587332 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS P5000系列是一种经济、通用、低成本的间歇沉积反应器,用于利用蒸发、溅射和/或等离子体源在基板上制造保形、均匀且无针孔的薄膜涂层。AMAT P-5000系列设计用于半导体和/或纳米加工规模生产微电子、光电、MEMS、功率装置等应用。APPLICED MATERIALS P 5000系列在其操作范围内具有很高的可重复性、可靠性和稳定性,采用简化的模块化方法,在满足该范围内的各种要求的同时,更易于调整和多功能性。P-5000采用先进的连续流式反应器设计，用户即使在难以覆盖的结构和基板上也能达到均匀性和覆盖率。反应堆装有可变速率脉冲电源，使用户可以密切监测沉积速率。AMAT P5000系列的设计目的是提供较低的总拥有成本,即使它具有高功率的能力,并且减少了对昂贵的备件和维护的需求。APPLIED MATERIALS P5000系列作为批量沉积工艺的一种经济解决方桉，具有真空隔离防污滤清器等特点，可用于防止副产品污染。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000系列依靠单泵或双泵两级扩散泵送系统和低温冷却操作来实现超低压力（<1 x 10-7 Torr）和有效的温度控制，以最大程度地减少热对薄膜性能的影响。该反应堆设计用于支持温度从室温到高于500 °C的过程。为提高用户灵活性,APPLIED MATERIALS P-5000系列为目标厚度、均匀性和可重复性提供了四个控制参数：功率水平、沉积速率、薄膜厚度和时间步长。该设备还具有多个工艺传感器，可与大型数据采集系统结合使用。AMAT P 5000系列包括直观的用户界面，允许远程操作，知识渊博的人员可以有效地管理沉积，而无需经常动手调整系统。今后的更新和升级也可供需要进一步定制的人使用。该系统的使用寿命很长。