二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293594304 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种先进的半导体器件加工设备，用于各种工业应用。反应堆使用可展开的工艺室，以便为孤立环境中的材料提供温度环境。这就不需要一个昂贵和潜在危险的真空系统。AMAT P-5000反应堆是一种设计用于处理多种不同类型材料的高温处理装置。它配备了一个使用先进的环境控制来维持温度和生长环境的三重炉机床。每个炉用石英卤素灯加热，并配有采用高温二硅化钼技术建造的热板插件。应用过程以石英工艺室初始化，其中材料暴露于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）。这种沉积工艺旨在将薄膜层沉积到多晶硅上。这一工艺已被用于生产半导体、显示器件和其他需要高温环境的材料。APPLICED MATERIALS P 5000的石英腔室可处理高达2000瓦的感应耦合等离子体（ICP）源,使其具有实现深硅亚微米级等过程的独特能力。APPLIED MATERIALS P5000的灵活性和多区功能允许在腔室内的不同区域执行不同的过程。这允许用户控制每个区域内的过程时间、气流和温度,以参数化多个预编程配置文件。该工具的模块化体系结构也可配置为同时运行多个进程。该资产由6.5英寸液晶显示屏供电,并带有图形用户界面（GUI）,允许用户自定义流程。高度可靠的界面允许灵活性和可移植性，允许用户根据需要调整处理参数。Applied Material AMAT/APPLED MATERIALS P 5000是一种高端、可靠且用途广泛的设备处理模型,可为用户提供多种处理功能。该设备是为众多工业应用而设计的，这些应用需要对温度最高可达2000°C的基板进行可靠的加工。该系统的三炉、热板插件和简单的GUI可为用户提供对过程流、温度和气流的全面控制。
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