二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293594313 待售

ID: 293594313
CVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种用于半导体制造的单晶圆反应器。该反应器用于化学机械抛光(CMP)、氧化、氮化以及金属和绝缘材料的沉积等多种应用。其多才多艺的设计使其成为生产最新高性能集成电路的理想工具。AMAT P-5000反应堆采用流式工艺,能够精确、一致地控制反应室内的环境。这种流动过程还允许严格控制不同过程中使用的气体溷合物。反应室配有多个反应性等离子体源以及先进的晶圆传输系统。APPLIED MATERIALS P 5000反应堆提供了许多功能,使其能够提供卓越的性能。它具有覆盖整个晶片的巨大统一性,确保该过程产生所需的结果。集成的CMP系统支持多种技术,如浆料、固定磨料和化学机械平面化(CMP),以实现整个晶圆的优越平面化。该平台还有一个高精度的机械臂,可确保精确和可重复的晶片处理和处理,使晶片能够精确地放置在反应室内,并能够优化关键应用的结果。它具有自动化的配方管理,以实现跨流程的一致可重复性,并且能够处理多个流程变量。应用材料P-5000反应堆还提供了超高温变化和监控,以便在加工过程中保持精确的控制。它还提供了增强的反应性气体控制,确保反应中只使用所需的气体。最后,反应堆还支持先进的配方,允许它在具有挑战性和复杂的过程中使用。综上所述,APPLIED MATERIALS P5000反应堆是一种高度复杂和通用的工具,非常适合各种半导体制造工艺。它具有先进的均匀性和可重复性,实现了精确的过程控制。其温度变化性、精确的反应性气体控制、自动化配方管理等先进特点,提供了卓越的质量和生产力。
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