二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293594320 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种生产规模反应堆，旨在提供高度一致和可重复的制造环境，以处理各种材料。它的特点，包括一个200 mm的腔室具有五晶片批量加载能力，使它成为一个有吸引力的选择半导体工艺控制。它的构造包括一个光学窗组件，里面装有一个连接到200毫米腔室的大而扁平的石英窗。这个窗口允许更好的光学分析，并提供了一种在加工前后检查工艺晶片的手段。此外，AMAT P-5000有一个集成的温度控制模块。这一模块采用了crucible、filament和wafer温度监测的组合，以及工艺一致性的精确加热器控制。温度控制模块也可用于控制和维持反应堆室的温度。在APPLIED MATERIALS P 5000上增加的动力传动系允许对许多过程参数进行精确控制，如压力、粒径、流量和溷合。它还结合了一个电阻加热元件，向反应堆室提供精确和可重复的热输入，以及一个可编程的发电站，方便晶片的装卸。P-5000利用氦气净化系统在反应堆室内保持清洁、无污染物的环境。其计算机控制的循环系统既防止晶圆污染，也防止晶圆表面形成"阴影"。为了提高清洁度，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000可以用真空装入上游控制器和洗涤器。AMAT P5000的定位器使用一个运动任务程序和一个运动处理器单元，以允许晶圆的精确和可重复的定位。该定位器还与光学窗口组件的晶圆观察端口配合使用，以进一步进行光学分析。应用材料P-5000反应堆是一个用途极为广泛的系统，能够在可靠、可重复的环境中执行各种过程。它的可重复操作，加上其环境控制和定位器，使得它成为半导体工业中器件制造的线性和非线性缩放的可行选择。