二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293600406 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种最先进的热处理反应器，用于生产过程，如化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）。它提供了沿基板表面温度的最高均匀性和可控性，过程动力学高达400°C/min，用于快速基板循环。该装置在一个自动化的水力混合轴运动平台上运行，具有专有的喷嘴设计，允许一致和均匀的工艺结果。AMAT P-5000是一个强大的系统，包括一个控制箱，真空室，和两个负载锁，以及一个机械传递臂。它提供了多种工艺腔室，包括高温SiC腔室、超低压腔室和半高压腔室。这些腔室提供了在同一生产周期中在单个晶片上执行多个过程的能力。此外，该系统的设计是模块化的，可以进行各种升级，例如增加房间和现场清洁。APPLIED MATERIALS P 5000具有先进的控制技术,允许对温度、压力和气流等参数进行精确的过程控制。数位过程控制可在反应器室一级使用，也可通过触摸板操作员远程使用。这种先进的控制技术确保了严格的过程控制,实现了可重复性和高产率,且可变性最小。集成配方系统提供了快速配方创建、使用和转移的程序步骤的能力。P5000为小批量生产和大批量生产提供了灵活性。它易于安装和维护,改善了维护周转,并减少了成本高昂的停机时间。先进的安全功能，包括操作员面板护板，使人员在操作过程中远离机器。AMAT P 5000是一款提供高品质、重复性和灵活性的理想生产工具。它能够生产各种复杂的产品，从显示器和光伏到微电子。APPLIED MATERIALS P5000提供了性能和一致性的独特组合,使其成为任何大批量制造过程的理想选择。
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