二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293603569 待售
网址复制成功！
单击可缩放
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种用于半导体制造的原位等离子体加工设备,为各种基于等离子体的材料加工功能提供了平台。该系统包括多种独特的特点，包括全金属真空室、加热基板支架和自动晶圆传输单元。AMAT P-5000在广泛的工艺参数下运行,可以精确控制材料表面的影响。它能够处理多种气体，例如氧气、氙气和氮气。机器的等离子体源是微波驱动的2.45 GHz磁控管，由多级射频电源控制。它被设计为支持高密度等离子体工艺，使其能够执行多种任务，如沉积薄膜、蚀刻表面、碳化基板等。APPLICED MATERIALS P 5000的真空室采用全金属机身，以确保最佳的热均匀性和耐等离子体侵蚀的合金。该室还设有一个双真空阀工具，在低工艺压力下提供全排空，以及一个无垫片窗口，以便观察基板加工。简化的锁载室设有一触式装卸功能，便于将样品从洁净室转移到AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000。AMAT P 5000能够保持高达350°C的温度和450 torr的最大压力。它配备了一个高性能的基板支架，使样品表面的精确和均匀加热到+/-3 °C以内。一系列的感光器和提升的基板与基板支架兼容，以便能够处理各种样本量和形状。晶圆传输资产被设计为符合人体工程学和用户友好，自动化的程序代码控制流程的每个阶段。AMAT P5000还配备了先进的控制模型，让用户能够准确控制自己流程的参数。这包括跟踪和监视过程的温度、压力和气流的能力，以及设置警报限制和日志过程参数。这使得APPLIED MATERIALS P-5000一个功能强大的工具,用于优化流程和生成可重复且一致的结果。
还没有评论