二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293606183 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种多室沉积反应器，设计用于将薄膜沉积在多种基板上，从而能够生产各种电子、光学和其他先进材料。AMAT P-5000已被半导体铸造厂、平板显示器生产商以及太阳能电池和存储设备制造商用于ALD、PVD和PECVD等工艺。APPLIED MATERIALS P 5000是一种化学气相沉积反应器，旨在提高制造速度和降低拥有成本，同时提供一致的工艺性能。它能够对多达四个腔室进行高速率腔室切换和模块化并行处理，并具有高效的传热和排气系统。P5000具有高效的温度控制系统，有助于减少循环时间和基板加热时间，从第一个腔室到最后一个腔室。它还配备了模块化的过程控制系统，允许用户独立控制每个腔室，以获得更一致、可重复的过程参数。AMAT P5000还能够在一个腔室中执行多个过程,从而实现高吞吐量并减少在腔室之间传输晶圆所花费的时间。APPLICED MATERIALS P-5000支持广泛的工艺选项,并配备了自动腔室配置和运行结束通信,使其适用于介电、屏障和蚀刻工艺等多种应用。它的自我诊断能力可以通过其机载维护和流程编程来访问，这使得故障排除和对故障或流程异常的快速反应变得容易。APPLIED MATERIALS P5000可以配备各种源类型，如射频、高频、直流电溅射，以及冷热原子束源。它还能够进行远程维护,从而简化了流程和维护工程师的沟通和帮助。最重要的是，它配有种类繁多的配件，包括提供增强均匀性的移动源，以及提供改进保护的钛源头。总体而言，AMAT P 5000反应堆提供了高均匀性和过程重复性，使生产各种电子、光学和其他先进材料的速度快、成本低。其过程控制系统使其适合广泛的应用，其远程维护能力有助于简化故障排除和维护操作。