二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293609327 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种先进的物理气相沉积（PVD）反应器设备，用于半导体工业中生产复杂结构和光电器件的薄膜沉积。该反应器具有集成的低温蒸发源和高温石英基板支架，提供可靠高效的沉积过程。AMAT P-5000还包括一个创新的基板传输系统，它能够每分钟传输多达20个晶圆，并确保更短的周期时间。APPLIED MATERIALS P 5000有几种不同的腔室设计，所有设计都是为了最大限度地提高生产力和性能。双口袋设计实现了标准和中频射频等离子体,而分体式口袋设计提供了额外的气体隔离、优越的角度和极快的晶圆传输。所有腔室还配备了最先进的温度控制器，确保了可靠的工艺控制和均匀的薄膜沉积。APPLICED MATERIALS P-5000还采用了其他几种先进技术,例如允许在同一工艺中沉积复杂多层的多层薄膜沉积装置,以及用于快速基板部署的高通量批处理炉技术。此外，该机器还包括许多传感器、监视器和控制系统，为操作员提供实时反馈和诊断能力。这使操作员能够根据需要调整参数，大大提高过程稳定性和可靠性。该工具还包括若干安全功能，例如自动放大资产，在发生意外的高能等离子体电弧时自动关闭前体，以及批量反应堆手动模式，这种模式能够完全手动控制沐浴者及其操作。此外，AMAT P 5000型号还可富含外部真空泵，如氦泵，以确保清洁工艺条件。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一种强大而可靠的PVD反应堆设备。利用各种腔室设计、先进技术和安全特性，确保了精密高效的沉积工艺，同时也保证了工艺的稳定性和可靠性。