二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293609328 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是用于半导体材料和集成电路蚀刻的最先进的等离子体蚀刻反应器。这种等离子体蚀刻反应器的设计保证了精确和可重复的结果具有先进的均匀性。它具有先进的等离子体源、工艺室设计、晶圆处理系统和直观的控制系统。AMAT P-5000旨在为许多不同的材料提供高精度和高效的等离子体蚀刻工艺。应用材料P 5000等离子体蚀刻反应器由工艺室、高频射频（RF）电源、真空泵和运输机器人组成。工艺室采用不锈钢制成，密封，确保真空环境受控。加工室内部有两个电极，一个是基板支架的形式，另一个是空心圆柱形磁控管的形式。基板支架用于运输基板，并在其与磁控管电极之间提供施加的电压。磁控管电极能够产生振荡质子束，使腔内的气体分子电离。高频射频电源提供了在腔内创造和维持等离子体的能量。磁控管通常以13.56 MHz的频率运行，但可以使用其他频率。射频电源还包含电源、波导和匹配的网络。电源提供DC和RF功率，波导和匹配网络调节信号，确保最佳等离子体条件。真空泵确保腔室没有不需要的气体，提供10-4 Torr的底压。利用传输机器人提高吞吐量，使得多个晶片可以同时处理。此外，AMAT P5000具有直观的控制系统，允许用户轻松调整蚀刻过程的参数。AMAT P 5000是一种高度先进的等离子体蚀刻反应器，能够精确蚀刻半导体和集成电路，并具有可重复的结果。凭借其先进的射频电源、工艺室设计、运输机器人以及直观的人性化控制系统，P 5000能够提供卓越的工艺性能。