二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293616570 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种单晶圆、高通量、等离子体浸没离子注入（PIII）反应器。它是一个用途广泛的系统,适用于各种应用,从高级包装和设备集成到研发和大批量制造。AMAT P-5000提供了极佳的最大剂量均匀性和出色的晶片到晶片的可重复性，使其成为TSV、oLED、MEMS、FinFET和3D-ICs等关键应用的首选。APPLICED MATERIALS P 5000配备了一个可处理六英寸晶圆的双口袋、强制模式载荷锁，以及一个包含先进等离子体源和磁性限制组件的密封室。双口袋设计可确保晶片在合理的时间轻松装卸,从而提高吞吐量。P5000还具有计算机控制系统和用户友好的图形界面，便于设置、参数控制和数据采集。它包括所有必要的参数设置、监视器和警报,以实现高效操作。采用深腔室设计和独特的球形基板支架，APPLICED MATERIALS P-5000可以利用全反射率容纳晶片，从而获得最佳晶片对晶片均匀性和工艺重复性。强大的等离子体源和先进的磁约束组件在整个晶片上提供均匀的离子轰击，在其直径上具有极好的均匀性。AMAT P5000的一个关键特点是其低能量植入能力。应用材料uC/cm2反应器具有1-100 keV的光束能量范围和高达600 P5000的总晶圆剂量,可提供业界领先的植入效率和离子剂量控制。结合<2%的均匀性,P-5000非常适合汽车、医疗和消费电子产品市场上要求苛刻、高精度的植入应用。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000结合其严格的控制、优化和工艺重复性，具有很高的可靠性、稳定性和高效率。它既是研发的绝佳选择，也是量产的绝佳选择。