二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293622411 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一个生产规模的原子层沉积反应堆。该反应堆的设计目的是将氮化物、氧化物和氟化物高通量地沉积到大型基板上。反应堆建在多级平台上，允许单程沉积多层不同材料。其加工室由不锈钢制成，并由石墨表面石英敏感器支撑，以确保整个晶片的温度均匀。反应堆由一台目标沉积速率为30-200 A/min的石英晶体Micro Balance（QCM）设备提供动力。沉积膜厚度均匀，保形，无针孔。AMAT P-5000具有精密的双级ABC自动校准系统,能够控制误差范围低至0.5°C的基板温度。与此单元相配合的是先进的安全特性，如断路器机器（Circuit Breaker Machine）和Over/Under Temperature Shutoff。这些安全系统在温度超过安全极限的情况下将电源关闭到腔室，从而消除晶圆损坏的风险。此外，其可选的清洗工具确保探测和清除室内的颗粒和气体，以便生产无针孔薄膜。APPLIED MATERIALS P 5000还提供了先进的多通道气体管理资产。该模型是为精确可靠地控制沉积序列而设计的.它包括特殊的软件，允许评估所有工艺参数，以优化膜的质量和吞吐量。最重要的是，AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000反应堆具有灵活性和可定制性。用户可以选择设置自己的流程序列并调整沉积参数,以满足其特定的应用需求。总体而言，AMAT P5000原子层沉积反应器是高质量薄膜沉积的有力而可靠的工具。它提供先进的安全功能和精确的控制系统，以确保质量和一致性。凭借其可自定义的平台和用户友好的界面，该反应堆是生产规模沉积氮化物、氧化物和氟化物的理想选择。