二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293625726 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种垂直型扩散反应器,广泛应用于半导体工业中,用于氧化、磷扩散、硼扩散、热退火等多种工艺。这种先进的反应堆被设计用来产生均匀性和可重复性,同时允许快速和精确的过程执行。AMAT P-5000反应堆采用高度85英寸(2.15米),直径40.1英寸(102厘米),体积45.7立方英尺(1.3立方米)的垂直圆柱几何设计。腔室由石英外壳和陶瓷芯构成,与水平炉相比,允许均匀且可重复的温度。石英壳还确保高温过程可达到高达2400 °C或4352 °F的高温。APPLIED MATERIALS P 5000具有两个石英加热区,用于测量关键加工步骤的热要求。它还可能配有多种石英和金属器皿组件,如氧化铝和钨篮,用于多种工艺要求。P-5000反应器可用于半导体工业的高温过程,如磷和硼扩散。这种过程需要精确控制高温均匀性和可重复性,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应堆是为了满足这一要求而设计的。石英外壳确保反应器内部晶片的温度均匀,而陶瓷堆芯和石英加热区则提供精确的温度控制。此外,AMAT P5000反应堆的垂直几何形状允许快速、一致的过程执行和冷却时间,有助于缩短周转时间。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反应堆的设计采用了精确的工艺控制,这对于生产顶级半导体产品至关重要。它允许用户选择精确的参数,如时间和温度,提高过程的准确性。而且,APPLIED MATERIALS P-5000可以配备基于PC的控制系统,进一步扩展其过程控制能力。总体而言,P 5000是一种用途广泛、可靠的垂直扩散反应堆,用于半导体工业,因为它具有精确的温度控制、过程重复性的一致性和高达2400 °C或4352°F的高温。它旨在提供晶片的均匀加热,同时允许快速和精确的过程执行,使其能够生产顶级半导体产品。
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