二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293627747 待售

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ID: 293627747
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
System, 6" Process: Nitride (2) Chambers DLH 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是为各种热过程设计的高温多功能加工设备。广泛应用于半导体和先进材料行业,用于沉积、蚀刻、退火、烧结、包装等多种先进材料加工应用。AMAT P-5000 Reactor具有一个超薄壁陶瓷室,提供出色的温度均匀性,极好的可靠性和宽广的工艺窗口。陶瓷衬里封装设计防止腐蚀性气体泄漏,并允许达到高达1000 °C (1832 °F)的温度。该反应堆能够按照全球生产标准进行精确的热处理。有一系列加热元件,包括感应加热和大功率陶瓷红外元件。在内部,反应堆具有针对基板和晶片的定制配置,包括高精度对准和定位。APPLICED MATERIALS P 5000 Reactor与高性能控制器紧密集成,实现了一致的、可重复的过程,具有出色的温度和过程变量调节。集成软件系统与外部设备集成,快速、准确地处理配方。反应堆还配备了完全安全的特点,包括防爆套管和外部监控的联锁系统。APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一种先进、用途广泛的半导体、先进材料和其他工业应用研究解决方桉。它旨在为客户提供高温下高质量加工和严格过程控制的好处,提供短流程周期和宽广的流程窗口。反应堆的先进设计和能力使其成为最佳性能至高无上的行业的理想选择。
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