二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293631606 待售
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ID: 293631606
PECVD System, 6"
(2) DhL Process chambers
Missing parts:
Throttle valves
Forelines
ATM Sensor.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种4室下一代反应堆，设计用于大批量生产半导体材料。该系统具有高产量和高产量,同时仍提供优质产品。这部分是由于反应堆的多室设计，允许最多四个不同的过程按顺序进行。这允许高效生产高质量的化合物。该系统由55KW三相交流电动机提供动力，并配备了多种安全功能，如互锁和接触器。这确保了安全高效的操作和高效的能源利用。系统外部采用不锈钢结构，耐腐蚀耐磨，内部设有四个独立的反作用室。第一室是预热室，用于将晶片作为一种额外的材料来源和作为一种额外的预处理阶段，然后再移至其他室。第二室是实际反应室，在此进行所需的反应。第三个腔室是去气化腔室，在此除去反应的副产物。最后，第四室是后处理室，在该室可以对材料进行额外的操作。由于其设计，AMAT P-5000能够大批量生产优质产品，生产成本低。它还配备了一系列软件和自动化功能，使其能够在最小的人工干预下轻松操作。这使得它非常适合用于大批量生产应用和半导体制造。
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