二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293677299 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应器是一种CVD（化学气相沉积）工具，用于在集成电路上沉积薄膜。这种先进的沉积设备具有独特的设计，能够在任何表面或基板上均匀沉积，提供无与伦比的可重复性和过程控制水平。AMAT P-5000反应器由负载锁、工艺室和排气室三个主要部分组成。负载锁设计方便样品装卸，为晶片装卸提供了一个快速便捷的过程。封闭式腔室采用多区双套设计，以提高温度和压力均匀性。排气室配有一个适合安全设计的坚固过滤系统，以及一个自动气门单元，以维持最佳的腔室压力。应用材料P 5000反应器可以同时处理多达五种底物，并且可以扩展到一次处理多达20种底物。这种灵活性允许增加吞吐量以及执行大规模沉积过程的能力。该机具备局部和完整膜沉积等多种功能，以及修边技术，适合多种沉积任务。此外，AMAT P 5000反应堆还配备了一系列先进的特性，以提供卓越的工艺控制。这些特点包括利用ASIC（应用专用集成电路）进行实时监控的数据采集工具、在整个腔室表面上将温度控制在+/-0.5摄氏度、提高传热速率以加快温度上升速度以及采用低反射腔室壁以增强均匀性和过程重复性。P-5000反应堆已被证明是集成电路制造商的宝贵资产，为任何集成电路提供最可靠和最具成本效益的沉积解决方桉。它广泛应用于半导体行业，从研发到大规模生产，由于其优越的工艺控制和优越的效果。