二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293690469 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应器是一种先进的高通量垂直晶体管器件制造设备。它用于超高性能设备处理,提供无与伦比的设备性能、产量和可靠性。该设备能够处理直径从1到6英寸的晶片。它使用感应加热的热墙石英基座进行基板加热，并且能够在高达15分钟的时间内200W 500 °C的吸收功率。最高温度可设置为1250 °C。该系统配有自动等离子清洗功能和计算机控制的过程控制单元。AMAT基板对准技术既能批量加工,又能单片加工.它还提供了过程和传输模块之间的快速晶圆传输。它还提供了一个高度灵活和精确的晶圆处理机。AMAT P-5000反应堆装有先进的电子回旋共振（ECR）微波源，用于氧气和硅等离子体增强化学气相沉积（PECVD）。此过程可实现高密度和高质量的沉积。PECVD反应器能够处理高达900°C的温度，并能达到高达每分钟6微米的沉积速率。APPLIED MATERIALS P 5000工具还具有温度和氧气反馈控制功能，对工艺参数提供最高水平的控制。它还提供了可调的过程压力和等离子体能量，在基板沉积过程中提供了高度的均匀性。该资产还提供了透明的石英晶圆传输窗口。这项功能可以用光学显微镜、紫外线（UV）反射或红外（IR）辐射监测腔室和晶片。总体而言，P-5000反应器是一种先进的高通量垂直晶体管器件制造模型，能够提供超高性能的器件加工、产量和可靠性。它具有广泛的特性和功能,非常适合制造高性能、低成本的晶体管设备。
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