二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293690471 待售

ID: 293690471
优质的: 1992
System Mainframe 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种垂直热处理反应器,旨在支持无机材料如氮化物、氧化物和金属的外延薄膜沉积。AMAT P-5000的独特设计是基于高性能、高纯度、低颗粒污染反应堆室。这种高可靠性反应堆除了具有更大的设计灵活性之外,还提供了出色的薄膜处理。APPLIED MATERIALS P 5000适用于多种沉积过程,如原子层沉积(ALD)、化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)。反应堆可以在大气压(Atmo)或高真空(HV)模式下运行,这取决于所需的沉积过程。其先进的控制设备确保了对温度、压力、时间等所有工艺要求的精确控制。工程师可以轻松地访问核心组件,例如压板、气体分配组件、样品支架组件和电源。反应堆还包括用于射频发电机的先进射频匹配网络和用于气体分配、流量控制和主动监测的集成气体面板。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000的设计考虑了生产率,具有多种先进的功能,可最大限度地提高沉积吞吐量,包括大容量加工泵、快速实时配方召回和高速基板传输系统。在坚固的腔室结构下,反应器有助于确保均匀的传热,从而产生优异的沉积效果。AMAT P5000还具有基于配方的自动化控制系统,使过程的可重复性能够产生一致的结果。用户友好型设备采用集成式安全机器,满足许多安全标准的要求,并提供广泛的故障排除支持。为了提供广泛的处理选项,可以使用各种高级组件(如冷却板、热板和感光器)来定制P5000。这使工程师能够选择其特定沉积过程所特有的组件,并优化其总体生产吞吐量。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000经过了广泛的测试和认证,具有高性能和可靠性。它具有可靠、可重复的结果和各种可定制的组件,是任何高产精密薄膜沉积加工要求的理想选择。
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