二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293690473 待售

'AMAT/APPLIED MATERIALS P5000'反应器是一种单一晶片工艺工具，主要用于MEMS和半导体工业，提供高精度和高性能的工艺，包括薄膜沉积。AMAT P-5000利用真空沉积源将薄膜层沉积在硅片上。它是半导体、MEMS和光电应用的行业领先设备。该系统由模块化设计组成,可在1x2x2配置中同时运行多达四个晶片源。该设备还配备了一台用于基板处理的机器人机器，该机器设计用于工作多达4英寸的基板，但也允许5英寸的过程运行。在APPLIED MATERIALS P 5000中提供的薄膜沉积工艺允许在整个晶片上均匀沉积材料。该工具的另一个特点是内置的氧化和氮化过程，这使得氧化材料能够沉积。P5000采用的先进薄片技术使沉积工艺比其他现有设备更加精确和均匀。该资产专门针对小至10nm的特定薄膜层而设计。基板加热器在过程中受到主动控制，加热至高温，确保提高均匀性和均匀薄膜层。此外，该型号配备了射频、直流、微波电源，使得复杂材料和结构的合成成为可能。该设备允许高吞吐量,因为它每小时最多可处理50个晶圆。所有与沉积过程相关的参数都可以通过嵌入式控制系统进行控制，从而为每个沉积过程提供优化参数。此外，该单元的设计，以适应广泛的基板材料和厚度的基板。总之，P5000是一种先进的薄膜沉积工艺机器，是专门为满足MEMS和半导体要求而设计的。它是研发的绝佳工具，因为它可以在整个晶片上实现精确的薄膜沉积和均匀性。P-5000具有温度控制系统和自动处理等功能,是一种强大而可靠的薄膜沉积工具。