二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293690474 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是为满足半导体制造的精密要求而开发的最先进的反应堆。这种先进的蚀刻工具具有一个集成了一个非蓄积室、一个超薄绝缘室和一个离子注入室的多合一模块。AMAT P-5000反应堆特别注重过程控制和灵活性，可有效制造关键器件层。APPLIED MATERIALS P 5000旨在与先进的等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）工具和粒子过滤器单元协同工作,提供具有严格电气和结构性能的半导体晶片。通过蚀刻工艺有效地运输晶片，它提供了晶片的自动定心和定向，以及每个基板顶部和底部的衬里。AMAT P5000拥有一个增强型腔室，利用双真空泵加强过程控制和提高安全系数。先进的腔室设计也提供了高度的均匀性，允许用户在整个过程中实现统一的电气特性。反应堆控制对蚀刻过程至关重要，P 5000利用内部温度控制系统，配有双独立加热器和温度传感器，在腔室内提供精确的温度控制。该控制系统还用于确保反应性气体的流量和压力一致。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000的双离子植入模块能够在不同温度和基板尺寸范围内提供广泛的能量。此功能可提供精确的操作,为用户提供各种蚀刻应用程序的显着灵活性。此外，模块的光束成形板被设计成创建一个宽广的，聚焦良好的光束均匀扩散，甚至侧壁形成。AMAT P 5000反应堆将最先进的工程技术与专家工艺能力相结合，是高精度、先进的蚀刻应用的理想选择。其精密的设计和可靠的控制提供了当今领先制造商所需的准确性和精确度。应用材料P-5000反应器具有集成电路器件最复杂的特点，是半导体器件制造蚀刻阶段的宝贵资产。