二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293729488 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一种特殊的半导体工具，用于各种应用。它是一个独特的平台，可以灵活配置用于多种过程，包括等离子体蚀刻、沉积和清洁。该工具由一个不锈钢真空室组成，该真空室被泵送到几毫升的底压。该腔室在温度和振动上被护罩部件隔离，以确保操作过程中稳定的底层条件。位于室内的上部台式设备装有与电源连接的电极和晶片支架。晶圆座最多可支援双晶圆座中的两个晶圆。电极悬浮在晶片表面上方，确保晶片上的等离子体负载均匀。AMAT P-5000反应堆利用气体输送系统，包括气体面板和歧管，为腔室配置必要的工艺气体。再循环装置允许腔室保持低水平的后侧排气，以防止产品污染。一个独特的HEPA过滤机可以结合减少空气中的颗粒。配方管理器位于工具的底部,负责控制流程的各种配方和设置。可以调整所有温度、压力和等离子体设置,以优化吞吐量和产量.应用材料P 5000反应器是许多先进集成电路处理策略的可靠主力军。它对自定义配置的灵活性和容量使其成为各种应用程序的有效工具。其独特的设计使工艺工程师能够利用最新的处理技术,在具有竞争力的吞吐量下实现高产率。