二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293729490 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种商用级反应器，设计用于执行先进的材料合成、沉积和蚀刻工艺。它是一个双源感应耦合等离子体（ICP）反应器，可以同时处理多个晶片，使其成为生产大容量基板的理想选择。AMAT P-5000中使用的ICP源可以在13.56MHz或27.12MHz运行,从而与各种材料、工艺和应用程序完全兼容。它还包括全频谱原位监控功能，以监控流程性能。ICP源可以达到高达1000C的温度,允许各种高温过程。APPLIED MATERIALS P 5000旨在优化过程控制,提供直接过程控制（DPC）机制和反馈机制。DPC模式允许可调气流、压力、几何形状和环境条件,以实现卓越的过程可控性。反馈模式还使设备能够快速适应不断变化的工艺条件，从而能够快速准确地优化工艺参数。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000利用先进的自动晶圆传输系统,可同时处理多达24个晶圆,从而实现高吞吐量。负载锁定设计非常适合高效的物料装卸，而本地化的现场监控单元实时监控沉积和蚀刻过程条件，使操作员对过程有更多的控制。P-5000还提供了先进的洁净室设计和出色的化学管理能力，并配备了能够精确调节化学流动和测量的自动化机器。这确保了可靠和稳定的过程操作窗口。这些功能使APPLIED MATERIALS P-5000成为大批量生产环境的绝佳选择,提供了卓越的工艺产量和卓越的工艺性能。