二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293759466 待售

ID: 293759466
晶圆大小: 8"
Etcher 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应器是一种先进的沉积设备,设计用于广泛的过程,从高精度薄膜到介电薄膜、光刻胶薄膜,以及用于电子、光学和其他应用的其他特种薄膜。AMAT P-5000提供了控制过程变量的完全灵活性,并具有具有高性能等离子体源和优化基板处理的高级PECVD腔室,以及高精度的自动基板定位系统。APPLICED MATERIALS P 5000的工艺解决方桉经过量身定制,可提供更好的均匀性和步长覆盖,降低电阻率,优化应力。它提供了先进的吞吐量、均匀性和晶片到晶片的可重复性。P5000允许加工各种材料,包括硅、砷化铵、氮化氙和磷化铵。除了改进的均匀性和步进覆盖优势外,P 5000还提供了增强的过程控制,可确保所需胶片的准确性和可重复性。其自动自适应过程控制算法提供了对沉积参数的实时访问,使用户能够根据薄膜标准调整沉积条件,保证了所需的结果。此外,AMAT P 5000还允许操作员在薄膜沉积过程中切换腔室尺寸、类型和材料组成,从而提供了额外的灵活性。该装置还具有先进的自动基板处理子系统,具有自动索赔检查机、温度控制和特殊材料的特殊气体处理功能。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应堆专为高速运行而设计,符合所有相关半导体行业环境法规。它配有清洁空气过滤和防止操作过程中发生化学反应的不锈钢钝化表面。与传统的溅射和热蒸发等沉积方法相比,应用材料P-5000在制造薄膜结构方面具有显着优势。APPLICED MATERIALS凭借其高性能等离子体产生源和优化的底物处理,P5000提供了均匀性和覆盖率,改进了膜控制,提高了吞吐量。P-5000用于各种行业,包括电子、光电子、光子学、数据存储、医疗等。
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