二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293765825 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应器是一种化学气相沉积(CVD)设备,设计用于大批量制造先进半导体产品。AMAT P-5000是一种创新、高效、可靠的多腔生产系统,可以生产出极高质量的晶圆、晶体管和微器件。APPLIED MATERIALS P 5000利用全自动并行生产过程,实现了高吞吐量和提高产品质量。其高速机械臂提供精确、合规、可重复、高效的材料沉积,达到最佳生产效果。它配备了一个最先进的主动过程监测单元,跟踪过程参数并检测超出公差的条件。此外,该机器最多可配置四个处理室,从而提供满足特定客户要求的灵活性。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000的超高真空沉积工艺可以为各种基材提供优异的均匀性和性能。真空工具由几个部件组成,包括一个8英寸矿物绝缘闸阀、一个涡轮分子泵和一个离子泵。所有这些组件的设计都是为了阻挡反应性残留气体,同时提供有利的低压环境,使材料的沉积更加光滑高效。沉积过程本身由强大的旋转式淋浴头、菱形尖端喷射器和旋转式环状喷射器驱动。淋浴头有助于沿晶片表面保持均匀的发射率。金刚石尖端喷射器可以为较厚的层层提供较高的材料沉积速率。最后,旋转式回路喷射器有助于保证沉积过程均匀。这三种沉积方法都保证了工艺的均匀性和可重复性,从而提高了层厚的均匀性。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000具有业界领先的流程合规性资产,可实现最佳流程结果。此高级流程监控模型提供实时流程跟踪和故障检测。它还通过提供任何工艺参数超出公差条件的反馈来帮助保持生产一致性,这些条件可能导致产量下降或报废率提高。总而言之,AMAT P5000是一种通用、可靠和可靠的CVD工具,用于大容量半导体产品制造。APPLICED MATERIALS P-5000具有高速度的生产能力、优异的沉积均匀性和工艺控制能力,是优质产品的理想解决方桉。
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