二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293772866 待售
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ID: 293772866
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
PECVD System, 6"
(2) AC Rack generators
Heat exchanger
(2) Chambers
Loadlock
Monitor
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应器是一种先进的沉积工具，用于金、铜和铝的沉积。AMAT P-5000适用于各种沉积应用，包括纳米结构的制造、薄膜金属化和其他光伏器件的开发。APPLICED MATERIALS P 5000工艺室的压力范围高达5 mTorr，温度范围高达950 °C。它还配备了质量流控制器（MFC），以精确监测和控制过程中的气流。此外,P 5000还提供了许多可定制的选项,允许用户根据每个应用程序的特定要求定制设备。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000由板载计算机控制,该计算机允许用户通过直观的用户界面管理系统。该计算机还能够在沉积过程中进行数据收集和过程监测，并为用户提供详细的过程报告。该装置的设计具有确保安全操作和最佳过程控制的安全特性。APPLIED MATERIALS P-5000提供了广泛的功能,旨在确保精确的过程控制。它有一个热管理机器，有助于保持工具内的温度一致，并且还可以配备化学门，以减少加工气体污染的风险。此外,APPLIED MATERIALS P5000还具有远程监控和控制资产,可远距离监控工艺条件,以及可调节的上部电极,以促进不同范围的真空过程。P-5000反应堆是一种可靠、可靠和高效的工具，适用于各种沉积应用。除金、铜和铝外，还可用于其他材料的沉积，包括钛、硅和氮化物。其多功能性和先进的控制模式使其成为制造纳米结构、太阳能电池、薄膜金属化等先进材料的理想选择。
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