二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293774678 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一种在晶圆或基板上处理和沉积高k介电或半导体材料的工具。这种反应堆系统是半导体制造、研发实验室、大学常用的独立设备。AMAT P-5000有一个不锈钢室和一个石英工艺室，使其能够运行湿法过程，如化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）。石英板用于将基板从负载锁输送到加工室。基板保持机构包括两个用于夹紧的电极和两个用于提升的电极，允许在沉积区中心精确放置基板。过程气体通过质量流控制器送入腔室。APPLICED MATERIALS P 5000反应堆还有一个内置的涡轮泵，可以用来从反应物室中排出反应性气体和冷却水系统来控制腔室温度。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000反应器使黑色金属能够沉积，包括钨、铵、钛、钴和的。也适用于介电或半导体材料的沉积，如氧化ha、二氧化锌、氧化铝等。AMAT P5000反应器被设计为使用几种不同类型的工艺气体，如的移气、氮气和甲烷，以产生所需的化学反应并形成所需的膜。总体而言，APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor是一种用途广泛、功能强大的工具，用于在基板上沉积高k介电或半导体材料。其不锈钢室和大型石英工艺室使其成为湿法工艺如CVD和ALD的理想选择。其温度控制、底物保持机理、质量流量控制器和涡轮泵对于产生所需的化学反应和薄膜至关重要。AMAT P 5000反应堆是制造半导体材料的宝贵工具。
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