二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293811641 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种支持多种沉积和蚀刻工艺的高性能外延反应器。它旨在为半导体器件制造提供超高质量的外延沉积。该机具有强大的5kW电子回旋共振源，保证了高性能和重复性。AMAT P-5000反应堆能够以高效可靠的方式执行复杂的过程。APPLICED MATERIALS P 5000具有五室设计，允许独立或同时处理多个工艺步骤。反应堆由一个石英衬砌的双端钟形罐子构成，里面装有底物。设有双动闸阀、石英桥接平台、温控工艺室。内置的温度控制和均匀系统有利于准确控制基板加热，优化工艺效果。P 5000采用模块化设计,为用户提供多种优势,包括低成本和卓越的操作。此外，反应堆还具有一系列缺陷检测和实时过程控制系统，旨在识别和快速纠正错误。此外,P-5000还具有最先进的安全功能,可防止意外的压力或温度升高。AMAT P5000反应堆以直观的布局提供先进的过程控制，使操作员能够轻松查看和控制多路源、温度和压力。软件还支持配方功能，允许用户为每个流程步骤开发特定配方。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000是一种高性能的电化学外延沉积反应器，设计用于先进的半导体器件制造。它具有强大的5kW电子回旋共振（ECR）源、五室设计、双端钟罩和几个过程控制系统。反应堆可选择具备专门的安全特性和实时过程控制能力，与不同的底物兼容。APPLIED MATERIALS P-5000使用户能够快速、准确地执行复杂的过程,并获得出色的结果。