二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293823309 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是AMAT, Inc.设计制造的一种多磁控管射频并联板电容耦合等离子体（CCP）反应器。这种高度先进的反应堆设计用于各种高密度等离子体（HDP）工艺技术，如蚀刻、沉积和半导体器件制造。该反应堆通常用于研究和商业应用，能够对各种材料类型进行高通量、精确和可重复的处理。这样可以比传统方法节省成本,并确保结果的一致性。AMAT P-5000反应堆是一个三室设备，具有射频功率模块，主室，泵和。射频电源模块包含主射频发生器、匹配网络、优化阻抗调谐器等电气设备。匹配网络将从天线到发射器的信号匹配起来，保护和优化射频发生器的输出。这一要素特别重要，因为它确保了一致的、可预测的射频功率。优化的阻抗调谐器包括可用于即时调谐的自动调谐器功能，用于在处理过程中向天线提供最大功率传递。APPLIED MATERIALS P 5000反应堆的主室容纳固态天线组件。该组件由三个线圈组成，安装在三个独立的支柱上，设计用于在室内传播等离子体，同时覆盖整个表面积。通过线圈的精确放置和平行板的使用，天线产生了非常薄甚至羽状的高密度等离子体。天线场强度是可调的，以增加或降低等离子体强度，允许沉积、蚀刻、键合等过程以更大的控制来进行。主室也是气体输送系统的所在地，该系统可以向该室注入和溷合多种气体。这种气体输送装置旨在创造一个可以进行等离子体加工的均质和稳定的环境。此外，APPLIED MATERIALS的主室P-5000容纳各种航空级材料和绝缘材料，确保高质量的建筑和耐用性。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000反应堆的泵机负责在过程完成后从腔室中清除颗粒和气体。水泵工具是反应堆最重要的部件之一，因为如果没有适当的气体和颗粒泵，就会有有限的可重复性和巨大的等离子体损耗。泵的资产高度先进，包括可调节的泵速率和对颗粒的速度控制，以及针对不同泵速度的多个气体控制阀。P 5000反应堆是一个高度先进的加工模型，建立在实验和生产过程的心目中。APPLICED MATERIALS凭借其强大的射频功率模块和优化的阻抗调谐器、多磁控管天线以及高效的气体和粒子泵设备,P5000能够以传统方法的一小部分成本产生一致、高质量的结果。此外，反应堆可以很容易地针对特定的工艺进行定制，使其成为用于许多研究和商业应用的最佳选择。