二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9005018 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种基于等离子体的干蚀刻设备,设计用于在各种高级应用中提供均匀且可重复的材料蚀刻。它是一种单晶圆微反应器，能够以快速可靠的方式支持表面清洁、层蚀和介电蚀刻等与蚀刻相关的过程。作为一个微型反应堆，AMAT P-5000还有助于经济高效地生产复杂的模式和复杂的设备结构，具有高度的均匀性和可重复性。具体来说，它能够高效生产超浅设备特性，深度可达10纳米，运行变化小于2纳米。这一级别的控制是由APPLIED MATERIALS P 5000的基于等离子体的干蚀刻技术启用的。P 5000利用低温冷却等离子体源、驱动范围匹配网络和电子范围源功率来产生和维持无杂质的稳定蚀刻等离子体。通过这些组件的组合,P5000能够确保高度统一的自下而上的蚀刻以及高精度的特征阵列,从而提高设备产量并降低成本。AMAT P 5000还与单晶片和盒式/集群配置兼容，能够协商广泛的材料，包括硅、移动物、砷化移动物和铝。这与简化的腔室和模块化设计相结合,使其成为降低成本的理想选择,同时仍能提供一致的结果。此外，P-5000内置了集成Vac系统等安全功能，确保了安全和受控的工作环境，同时消除了不希望的气体泄漏机会。同样,该单元还具有机器监控、过程控制和自动配方构建功能。总之，APPLIED MATERIALS P5000是一种创新和直观的微型反应堆，能够为各种先进应用高效和精确地蚀刻材料。它具有统一和可重现的蚀刻功能,加上高精度的特征阵列和可靠的安全功能,使其成为任何寻求高质量性能的组织的一种功能强大、经济高效且可靠的工具。