二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9040992 待售
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ID: 9040992
CVD TEOS, 4"
Model: ON-BD TEOS STAN
Twin chamber
Ancillaries
Steel-framed ancillary stand
(2) vacuum pumps
Stored in cleanroom.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是下一代高性能等离子体反应器,在高级半导体应用中为卓越的工艺性能和可靠性而设计。这类反应器,又称高密度等离子体(HDP)反应器,利用磁增强等离子体来提高沉积速率、薄膜层均匀性、介电和金属沉积特性。AMAT P-5000 HDP反应堆具有许多关键特性,使其成为半导体工业设备和材料创新的宝贵资产,包括:多炉设计:这一专利设计采用多炉式结构,以确保晶圆恒定和均匀加热。这一特性对于材料在晶片上的重复和准确沉积至关重要。低温操作:APPLIED MATERIALS P 5000具有低温操作范围,允许更快的沉积和高材料兼容性与标准和低k器件的制造。超精密温度控制:为进一步提高P-5000温度精度,反应堆采用超精密温度控制系统,确保材料的精确重复沉积。多重基板兼容性:该反应堆设计为与各种基板材料高度兼容,允许介电和含金属材料的优越沉积。高密度等离子体:P 5000 HDP反应器利用磁增强等离子体提高沉积速率、薄膜层均匀性和介电/金属沉积特性。远程诊断:此反应堆提供远程诊断功能,允许对机器进行实时、现场故障排除和维护。应用材料P-5000 HDP反应堆是一种强大的下一代反应堆,能够在半导体工业中进行卓越的沉积和材料创新。磁增强等离子体的加入提高了沉积速率、均匀性和材料兼容性,使得AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000非常适合在各种基材上对材料进行精确和可重复的加工。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 HDP反应堆具有低温运行、精确的温度控制和远程诊断功能,是一个强大的反应堆,能够提供卓越的性能和可靠性。
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