二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9056845 待售

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ID: 9056845
晶圆大小: 6"
CVD System, 6" Software rev. E5.03 (4) Chambers: (2) TEOS deposition chambers (2) TEOS etch chambers Currently crated.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种高端、高性能的蚀刻反应器,被先进的半导体制造商用来制造集成电路。它是一个高压高温蚀刻反应堆,旨在解决与缩放最新集成电路的微观和纳米结构有关的问题。AMAT P-5000采用双频晶片卡盘分别定位和夹紧晶片。这样可以实现更高效、更准确的蚀刻处理。此外,反应堆还配备了多色调飞行时间质谱仪(TOFMS),用于精确控制蚀刻过程。这保证了蚀刻沉积控制在纳米水平。APPLICED MATERIALS P 5000还采用高效射频发电机和射频电源,在蚀刻过程中显着降低功率损耗。AMAT P5000利用先进的自动化系统对蚀刻过程进行精确监测。这包括用于处理过程中蚀刻直接可视化的高清数码相机,以及用于精确控制蚀刻室和晶圆卡盘运动的高端视觉和制导系统。此外,该反应堆利用先进的数据采集和处理系统对蚀刻产物进行精确分析。P 5000配备了全套传感器技术,包括红外、紫外线和可见光谱、成像、粒子计数等。这样可以快速准确地表征蚀刻产品。而且蚀刻室还配备了超快温度测量,确保了对腔室温度的精确控制。总之,APPLIED MATERIALS P5000是一种高端、高性能的蚀刻反应器,非常适合用于先进的半导体制造。它包括先进的自动化和精确的控制能力,允许生产经济高效和准确的集成电路。
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