二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9069051 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是为高级半导体应用而设计的物理气相沉积（PVD）反应器。它为研究和开发应用以及批量生产需求提供了一个可靠和经济高效的平台。AMAT P-5000 PVD设备由四个主要部件组成：一个机械壳体、一个真空室、一个气线组件和一个等离子体控制单元。为便于过程控制,系统配备了高级触摸屏图形用户界面（GUI）。此图形界面允许操作员根据个别工艺需求轻松配置APPLIED MATERIALS P 5000。P-5000的超耐用不锈钢机械壳体提供了清洁的真空环境，以实现最佳的工艺精度和性能。设有一个单门入口，方便进入真空室内处理的材料。综合气体输送装置允许制造环境所需的工艺气体的优化流动。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000真空室采用先进的多壁结构，高效可靠。这种多壁结构可以显着提高导热系数，提供最佳的均匀性和一致可重复的晶圆生产结果。APPLIED MATERIALS P-5000的等离子体控制单元配备了多种强大的自动化功能。这包括控制晶圆流、启用自我诊断、配置流程配方和启用手动控制的功能。该单元还包括一个独特的自动调平功能，以确保最准确的沉积结果。最后，AMAT P5000配备了一系列安全功能，以保证机器的安全运行。这包括自动关闭工具、紧急非循环保护和可选的一氧化物保护。总体而言,AMAT P 5000旨在为高级半导体应用提供高效、可靠和经济高效的平台。该资产非常适合研发应用以及批量生产需求。它配备了一系列先进的功能，以确保一致的可重复晶片生产成果和安全高效的操作。
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