二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9077991 待售

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ID: 9077991
晶圆大小: 8"
Nitride PARC PECVD system, 8" (4) CVD Chambers (4) Heater lamps Gas Showerhead box Wafer sense Robot Storage elevator Ergo cassette loaders Unit 1660 MFC’s (4) RF Matching networks (4) ENI RF Generators DMC Rack Lamp modules Electrical and pump rack RIF Rack (2) EDOCS With rack Mini controller Monitor rack Heat exchanger MFC Tool cables Missing: Some process kits Mouse Manual.
AMAT/APPLICED MATERIALS P5000反应器是一种先进的化学气相沉积设备,设计用于高精度的薄膜沉积。这种通用工具非常适合电介质、金属、氧化物、氮化物和多晶硅层的沉积。AMAT P-5000具有很高的吞吐量和优异的均匀性,是最适合要求苛刻的沉积应用的工具之一。应用材料P 5000反应器在大晶圆表面上具有优异的均匀性和均匀性.它配备了允许快速沉积速率的大功率电子束枪。这种电子束枪以高达5000瓦的功率运行,这意味着沉积过程可以快速完成,并具有优越的均匀性。APPLIED MATERIALS P-5000的灵活性允许用户同时调整时间和电源设置,以实现最佳影片质量。系统装有平底设计的陶瓷室。这种设计增加了沉积过程的均匀性,并确保了薄膜的厚度一致。平底设计还消除了内部机械反射,消除了阴影,确保了完美的均匀性。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应堆使用高纯度、高纯度的原料进行沉积。其原位气体输送装置是为精确控制腔室条件而设计的,确保在腔室空间内有精确数量的原料,以获得最佳的工艺稳定性。还提供各种标准和定制配方,以优化电介质、金属、氧化物和多晶硅层的沉积。在安全性和性能方面,P5000反应堆配备了各种安全系统。其中包括电力监测机、卤素气体监测仪、气体排放资产、压力泄漏探测器和流量监测仪。此外,P-5000反应堆还配备了先进的监测模型,提供有关腔室状况和性能的实时信息。AMAT P5000反应器是一种多功能、可靠的薄膜沉积工具。P5000具有高吞吐量和优异的均匀性,具有卓越的沉积能力和广泛的工艺选择。这种功能强大的工具非常适合要求苛刻的沉积应用,可以处理高纯度、高纯度的原材料进行沉积。AMAT P 5000是一种先进的工艺工具,设计精密和优化膜沉积。
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