二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083283 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是为先进材料和薄膜沉积而设计的最先进的设备。它利用电子束增强化学气相沉积（EBCVD），这是一个化学过程，利用电子束的能量将多层薄薄的材料层在基板上，将反应性气体分子解离成与基板反应并覆盖的原子。AMAT P-5000是一个单晶片13.56 MHz射频发电机供电的管状反应堆。具有高密度等离子体均匀沉积特点，适用于各种先进材料沉积应用。该系统包括用于沉积速率控制的双区热壁电子束枪，以及增强功率ARC+特性，提高了沉积速率和均匀性。"增强型热通道"功能允许整个基板具有高温均匀性。冷壁射频控制石英工艺室具有5英寸和7英寸晶圆吊舱以及4英寸选项，提供快速晶圆更换。该装置提供柔性膜沉积，因为它的设计支持各种材料和沉积技术。例子包括金属化、CMP和氧化/氮化。大型滑出式低维护电子束源固定器可实现快速轻松的维护,节省时间和成本。该机还提供用于控制沉积过程的高级接口，并提供对沉积输出、晶圆温度和其他参数的特殊监控。应用材料P 5000反应堆的设计考虑到安全和用户方便.该工具的安全功能包括氧气和气体关闭资产、洁净室访问控制以及远程监控和警报功能。此外,该模型与许多沉积附件兼容,从而可以更轻松地集成组件,如负载锁、工作站和虚拟基板。总体而言，AMAT P5000反应堆为先进的材料沉积提供了可靠、通用的平台。该设备具有高性能和易用性，为寻求高质量沉积系统的人们提供了一个很好的解决方桉。