二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083285 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一个最先进的反应堆，设计用于半导体、纳米电子和MEMS行业的先进研究和最先进的制造工艺。这种先进的加工工具旨在将独立的化学机械抛光和平面化的灵活性与先进的蚀刻和沉积能力相结合。AMAT P-5000可用于创建各种特征尺寸,胶片厚度在1至10微米之间。设备配备了单晶片和批处理能力，使其能够提供最高水平的工艺灵活性、效率和成本效益。反应堆可以处理尺寸达300毫米的基板，以及厚度在200毫米至150毫米之间的晶圆。此外,该系统的最大处理压力为8 bar,可调节射频频率高达25MHz的功率和气体输送频率。APPLICED MATERIALS P 5000具有精密的温度控制以进行精确的过程监控、可变的等离子体源组合以获得最佳的气体通量、改进蚀刻的自动谐波等离子体控制、多资源高水平的基板处理以及最新的高科技基板晶片技术等多个特点。此外，反应堆还配有一个紧凑的腔室，使机组能够在密闭空间内高效运行。APPLIED MATERIALS P5000也提供了许多优于传统批处理系统的优势。该机器能够产生各种材料特性，对温度、压力、工艺时间和气体成分进行全面控制。此外,该工具还具有改进蚀刻的自动谐波脉冲控制.这种先进的处理工具允许用户以更高的精度创建薄膜层，同时保持最高质量和工艺一致性。此外,该资产还提供多种安全功能,例如内置安全机制、多层绝缘材料和可靠的泄漏检测模型。总体而言，P5000是一个极其先进的反应堆，旨在为行业领先的过程提供最高水平的过程控制和灵活性。这座强大的反应堆提供了多种特性，包括精确的温度控制、可调节的射频频率以及广泛的安全特性。设备坚固可靠，效率和成本效益最高。