二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083287 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9083287
优质的: 1996
PECVD system Process: SiO8, SiN 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种具有生产能力的反应器,非常适合先进的材料沉积和蚀刻加工。可用于III-V和多层薄膜沉积、电子器件制造、半导体器件制造以及MEMS、LED、金属化等先进半导体技术等应用。AMAT P-5000具有广泛的功能,可以处理各种材料。它有一个较低的压力系统,能够处理高介电基板,高真空处理高达9.5 x 10-7 Torr,允许非反应性的,非常低的压力沉积。它具有多种高电流、高电压选项,能够在600°C的温度下精确加热基板,是制造高性能设备的理想工具。APPLICED MATERIALS P 5000系统是一种用于高级蚀刻和沉积应用的强大工具。反应堆室是一个圆柱形设计,以确保一个统一、一致的过程,使材料过程,如深热退火,点火速率闭环控制,次秒等离子体启动,脉冲蚀刻和沉积过程。它还提供各种控制选项,以实现最佳的灵活性和流程准确性,包括数据采集和实时流程监控。APPLIED MATERIALS P5000设计为模块化的自动化系统,具有多种选项,可加快材料沉积和蚀刻过程。它具有自动化的样品进出过程,以及允许快速运输和装载样品溷合物的机器人技术。这种自动化使得它成为各种生产过程的卫生和安全选择。此外,P-5000还可以升级,增加一系列组件,如质量流量控制器和冷藏循环装置,以提高性能。总体而言,AMAT P 5000为高级蚀刻和沉积工艺提供了可靠、通用的平台。凭借其无与伦比的性能能力,AMAT P5000反应堆可以作为一个极其强大的工具来满足一系列材料加工要求。
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