二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083306 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种多功能反应堆,设计用于处理半导体材料。它专为气相生长和蚀刻应用而设计，为晶圆制造提供了可重复、可靠的工艺。AMAT P-5000反应堆基于模块化设计，带有一个可选的二级腔室，用于更加复杂和定制的过程。它也是为了满足单晶片加工的需求而设计的。APPLIED MATERIALS P 5000的核心组件是Multi-module Controller，它为各种操作参数的监控提供了一个全面的平台。控制器用于加载和卸载晶片和气体，以及监测压力、温度和流量。此外,它还可以通过调整操作参数来微调过程。APPLIED MATERIALS P5000设有一个电阻加热区和一个执行处理室主要功能的射频感应区。加热区提供均匀、较高的温度，而较低的温度则由射频感应区提供。这两个区域都具有处理超压、真空和强制排气的能力,以实现定制的工艺功能。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000的另一个特点是反应堆壁与基板之间的"气隙"。这一间隙有助于最大限度地减少基板与腔室表面之间的热量和颗粒干扰，保持P-5000性能的高可靠性和重复性。可选的二级腔室允许一个更通用和量身定制的过程。腔室压紧，能够使用两个独立的气源。这一特性可用于供应多种气体，或开发带有额外气体或酸的高级工艺。应用材料P-5000利用各种安全机制。它有一个集成的气缸和歧管系统，能够安全和均匀的供气连接，并提供防止意外注入不正确气体的保护。AMAT P 5000还配备了一个超压爆破盘，能够立即排出任何过压。AMAT P5000是晶圆制造的可靠工具，为各种半导体工艺提供了安全、可重复的工艺。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000具有多种功能,是任何加工环境的理想选择。