二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9092874 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种高温反应器，设计用于高级材料的工艺开发、联合开发和生产。该系统能够以完全自动化和高效的方式进行化学气相沉积和化学机械抛光。该反应堆利用CVD和CMP的最新技术，提供了最高水平的工艺控制和产量。AMAT P-5000设计有一个垂直反应器室，容纳三个相应的薄片，用于底物的装卸。APPLICED MATERIALS P 5000的垂直设计允许在同一等离子体腔内支撑和加工广泛的基材。APPLICED MATERIALS P5000的工艺程序是完全自动化的,旨在使用复杂的配方,从而实现最佳且可重复的沉积和抛光工艺。特别设计的多气体输送系统允许在CVD过程中精确控制气体的输送，提供更大的控制和工艺质量。根据材料要求，P-5000最多可同时使用三种反应物气体和一种净化气体。P5000能够在高达500 °C的温度下执行CMP过程,整个基板表面都有统一的基板温度。独特的水流系统确保实现可靠高效的CMP工艺，而独立的停留时间管理则保证优化统一的处理工艺。AMAT P 5000具有先进的自动化功能,使用标准通信协议（SCPI）等通信接口进行操作。它还支持对CVD和CMP流程进行远程诊断和在线监控,以便实时监控和调整流程。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000专为高生产率和产量而设计，适用于先进材料的自动化生产。AMAT P5000具有精确的过程控制、高级自动化功能和高温CMP过程等功能,为生产高质量的高级材料提供了可靠的解决方桉。