二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9093623 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种化学机械抛光（CMP）反应器,旨在提供高水平的基板平面度和表面平滑度。AMAT P-5000反应堆采用先进的制造技术开发，设计符合各种制造要求，是各种CMP工艺的可靠平台。APPLICED MATERIALS P 5000反应堆具有现有最大的抛光室足迹之一，允许对直径高达450mm的晶圆进行大规模的基材加工。该反应器能够处理各种工艺化学，并通过高压抛光降低表面粗糙度。P 5000具有强大的浆液过滤功能,可提高清洁效果,以及用于高效基板处理的内置固定设备。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反应堆可以很容易地与现有的全植物控制系统集成。APPLICED MATERIALS P5000反应堆的设计集成了最新的CMP技术，以最大限度地提高性能。反应堆采用拆卸Ue和可靠密封的抛光室设计，机械臂自动在多个抛光站移动晶片。这使得AMAT P 5000比传统的CMP反应堆实现了更高的生产效率，同时保持了均匀的底物抛光结果。此外,APPLICED MATERIALS P-5000采用先进的全氟聚醚（PFPE）抛光垫,用于清洁、有效的基材抛光.除了P5000反应堆的坚固设计外，系统中还集成了多种先进的过程控制技术。这包括对CMP过程的实时光学单元监控、即时过程参数调整、预测性维护诊断、自动晶圆处理以及过程历史数据库日志记录。通过利用这些自动化的过程控制技术，AMAT P5000能够快速而有效地提供一致的过程结果。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应堆设计为在生产环境中提供高质量的结果和可靠的运行。为了确保最高级别的性能,P-5000能够利用各种性能调整参数来定制特定的应用程序要求。此外，反应堆还包括一套全面的生产率监测工具，以提供对机器性能的全面观察。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是一个可靠和坚固的CMP平台，具有多种功能，可根据各种制造要求实现高效和一致的基板抛光性能。AMAT P-5000是实现高水平基板平面度和表面光滑度的可靠工具。