二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9096152 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是为等离子体沉积应用而设计的专用反应堆。该反应堆设计用于在高达700 °C的温度下处理基板。利用等离子体沉积技术的最新进展，提供了质量最高的薄膜应用。AMAT P-5000的设计适合各种材料，从电介质到半导体和金属。反应器室是真空密封的，由两个独立控制的可变真空端口组成。这使得材料可以在低至10-7 Torr的超高真空中加工。这些端口还为用户提供了对沉积过程参数的更多控制。腔室还具有大的等离子体源，允许大范围的等离子体密度，允许广泛的沉积要求。电源/控制器具有内置的等离子体监控系统,能够提供多种电源配置文件,包括单脉冲、突发脉冲和功率增强模式。还有一个控制等离子体沉积物能量需求的系统，允许对沉积过程进行极好的控制。此外，一个原位光学发射器和探测器系统允许对过程进行详细的观察。应用材料P 5000是一种先进、高效的等离子体沉积工具.其特点的结合为沉积工艺提供了极好的控制，使用户能够生产出具有严格工艺参数的优质薄膜。其高度的灵活性使其适合广泛的应用，其坚固的构造手段可以在恶劣的工业环境中使用，维护要求最低。