二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9102224 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是为高温半导体加工而设计的工艺反应器。它是一种高性能工具,能够制造高级半导体器件。AMAT P-5000是先进的3D集成设备(如晶体管、DRAM等)的理想选择,因为它具有卓越的精度和与洁净室兼容的功能。APPLICED MATERIALS P 5000的特点是一个由不锈钢和石英制成的腔室,在墙壁、天花板和地板上都有水平安装的热辐射屏蔽。该设计具有独特的气密均匀绝缘设备,为控制环境提供了一种高效的方法,并能够对设备性能进行精确分析。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000利用先进的热均匀性控制,确保所有加工参数保持在恒定范围内,从而实现设备生产的一致性。AMAT P5000采用模块化设计,提供远程诊断和维护控制等功能以及配方功能。此功能允许制造工程师根据设备处理要求存储和召回配方,从而实现操作自动化和简化。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000还具有高级安全包,可确保安全和无故障的处理。它包括用于潜在危险气体的自动关闭阀、压力传感器切口和没有氧气传感器接触以及低压和高压限值。此外,AMAT P 5000还提供了先进的热管理系统。该单元均匀地分配热量,确保均匀的温度分布:确保诸如温度、压力等处理参数的均匀性。它还具有各种可定制的冷却系统,提供了一种更高效的冷却方式,以及更快的冷却时间。P5000还提供了多种先进的工艺技术,使其能够同时加工多达七层材料。该工具能够利用自旋涂层、PVD、CVD、蚀刻、ALD和其他强大的工艺,完全控制感应、辐射和热源。总体而言,APPLIED MATERIALS P5000是一种用途广泛、可靠的反应堆,非常适合高科技半导体加工。它具有精密、安全的特点,非常适合复杂的集成设备制造.
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