二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9112922 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是半导体工业中用于研发和小批量生产的单晶圆加工反应器。它是一种适用于用于制造半导体器件和复合材料的过滤和沉积工艺的超高真空（UHV）系统。AMAT P-5000通过电子控制单元（ECU）控制，并通过IEEE-488总线连接到个人计算机（PC），ECU管理和操作反应堆的不同部件。APPLICED MATERIALS P 5000包括一个工艺室、一个上下电极、一个静电卡盘（ESC）和一组摩擦电嵌入气体输送子系统（GDS）针。工艺室是一种真空室，可以达到1E-7 torr或更低的压力。一组四个同心的内环圆盘允许在反应堆内部均匀分布热量。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000允许各种沉积过程，如ALD、PECVD和溅射，利用电子和气流参数来调节反应物剂量。上下电极可以达到高达1000 °C的温度，并使用ESC充电。ESC由摩擦电材料制成，旨在以均匀的电势为晶片充电。充电可根据流程需要进行调整。晶片采用四点接触机构固定居中。GDS针头负责将受控数量的气体输送到工艺室内。例如，如果将AMAT P5000用于沉积反应，通常三种气体将以必要剂量输送到反应堆、前体、氧气和载气中。GDS针可以编程为在加工过程中修改反应物剂量，允许需要微调反应物的复杂过程。总之，APPLIED MATERIALS P-5000是半导体工业中用于研发和小批量生产的单晶圆加工反应器。它是一种适用于过滤和沉积过程的超高真空系统，能够输送可调反应物剂量的受控气体。它通过具有可调沉积过程参数的ECU进行控制,并具有一个上下电极,可达到高达1000 °C的工作温度。