二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9118859 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是专门为先进材料系统处理而设计的先进自动化反应堆。该反应堆集成了最高精度的传动系统、容量、兼容性和定制技术，以确保过程的可重复性、准确性和可靠性。利用其灵活的自动化体系结构,AMAT P-5000提供了优化的性能,以满足不同级别的设备自动化过程要求。APPLIED MATERIALS P 5000反应堆由气体/气体进料系统、自动化控制面板、多区辐射加热器组件和半导体工艺室组成。气体/气体进料单元将来自汽相和液相的反应物从储罐泵入反应堆。自动化控制面板包含一个功能强大的处理器，并连接到腔室、加热器和其他子系统。它负责控制反应物气体的压力、温度和组成等机器参数。多区辐射加热器组件由一系列独立可控的燃气辐射管组成，这些辐射管连接到波纹管操作的机械结构上。此组件的多区域功能允许精确的温度控制,从而实现最佳的工艺配方和性能。半导体加工室由一个衬有电磁线圈的石英室组成。这些线圈在腔内产生交替磁场，用于驱动反应过程，同时控制反应物分布。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应堆还具有过程调节能力，允许在启动和稳态操作期间进行响应修饰。设置这些参数是为了确保工艺室在整个操作过程中保持一致的关键工艺参数，如温度和反应物浓度。此外，P5000能够处理各种化学物质，使其适用于纳米加工、气相沉积和薄膜沉积等应用。总之，AMAT P 5000是一种高性能的反应堆工具，它提供了优化的性能和改进的过程重复性、准确性和可靠性。APPLIED MATERIALS利用其自动化组件和强大的过程调节功能P5000能够处理各种化学问题,使其成为高级材料系统处理的宝贵工具。