二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9134013 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应器是一种亚大气层、集成式快速热处理（RTP）设备，设计用于提供多种材料的高产、均匀的薄膜沉积。该系统可用于制造半导体、微电子、医用和特种光学等广泛行业的元件。AMAT P-5000反应器能够在氦气气氛中以高达2000 °C的温度进行处理，允许各种先进的薄膜沉积技术，如热氧化、溅射离子镀层、ALD、CVD和ALD-CVD工艺。它包括自动配方设置、低污染薄膜沉积的动态臭氧清洁、用于控制气体流动的清除百叶窗、用于沉积前快速预先对准晶片的电动晶片载体、以及定制设计的带有冷却通道和温度控制端子的感光器框架，以提供整个腔室均匀、可重复的温度分布。该设备还提供灵活的工艺选项和模块化升级功能,允许用户采用最新的薄膜沉积技术。APPLICED MATERIALS P 5000反应器具有高分辨率摄像头，可提供晶圆快速对准和最终产品在工艺室内的精确定位，真空水平高达5E-5 Torr。它还有一个内置的加载锁定机，它允许晶片的装卸，同时保持一致的处理环境。这样可确保在多个流程周期中获得稳定且可重复的结果。最后,该工具包括一个冷却风扇,用于从工艺室中除去多余的热量,确保在所有基板上均匀沉积薄膜。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor是寻求先进薄膜沉积高效、低成本资产的人的绝佳选择。它具有灵活的配置,使用户能够跟上先进的薄膜沉积技术,确保在广泛的应用中获得高精度、可重复的结果。